电子级双氧水（ElectronicGradeHydrogenPeroxide）是一种高纯度、低杂质的过氧化氢（H₂O₂）溶液，专为电子工业（尤其是半导体、光伏和精密电子制造）设计，以满足其对材料洁净度和化学稳定性的严苛要求。以下是详细介绍：
1.基本特性
化学式：H₂O₂（过氧化氢）。
浓度：通常为30%~35%（重量百分比），但纯度远高于普通工业级或医用级双氧水。
关键指标：
金属杂质：Fe、Cu、Na、K等金属离子含量极低（通常控制在ppb级，如<1ppb）。
颗粒物：粒径≥0.2μm的颗粒数量少于100个/mL。
TOC（总有机碳）：<100ppb，避免有机物残留污染。
阴离子：Cl⁻、SO₄²⁻等含量极低。
2.核心应用
电子级双氧水主要用于电子制造中的清洗、蚀刻和氧化工艺：
半导体制造：
晶圆清洗：去除硅片表面的有机物、金属污染物和微粒。
光刻胶剥离：与硫酸或氨水配合使用，清除光刻胶残留。
氧化工艺：用于形成薄氧化层（如SiO₂）。
光伏行业：太阳能电池片的清洗与表面处理。
微机电系统（MEMS）：精密器件的清洗与蚀刻。
平板显示（LCD/OLED）：玻璃基板的清洁与蚀刻。
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