电子级双氧水（电子级过氧化氢）的产业应用

　　电子级双氧水（高纯度过氧化氢，H₂O₂）因其超高纯度、低金属离子含量和低颗粒杂质的特点，被广泛应用于对洁净度要求极高的高科技产业中。以下是其主要的应用领域：

　　1.半导体制造

　　晶圆清洗

　　用于去除硅片表面的有机物、金属离子和颗粒污染物。例如在RCA清洗工艺中，双氧水与氨水或盐酸混合使用，分别去除有机残留和无机杂质。

　　光刻胶剥离

　　在光刻工艺后，与硫酸（H₂SO₄）混合形成SPM溶液（硫酸-过氧化氢混合物），高效去除残留光刻胶。

　　蚀刻与表面氧化

　　用于硅表面的氧化处理，形成薄氧化层（SiO₂），或在特定蚀刻步骤中作为氧化剂。

　　2.光伏产业（太阳能电池）

　　硅片清洗

　　去除硅片切割后表面的金属污染物和有机残留，提升电池效率。

　　制绒工艺

　　与碱性溶液协同作用，在硅片表面形成微米级绒面结构，减少光反射。

　　3.印刷电路板（PCB）制造

　　微蚀与表面处理

　　用于铜箔表面微蚀，增强与绝缘层的附着力；或去除钻孔后的环氧树脂残留（除胶渣工艺）。

　　盲孔/通孔清洁

　　清洗孔内杂质，确保电镀或填孔工艺的质量。